一、引言：一场没有硝烟的城市竞赛
国产EUV光刻机的突破，不仅仅是一家企业或一个实验室的事。在这场关乎中国半导体产业命运的攻坚战中，各大城市都在暗中角力——上海有上海微电子，北京有中科院微电子所，武汉有光谷……但如果说谁最有希望率先交出一份“接近量产级”的答卷，我的判断是：深圳。这不是出于对深圳的偏爱，而是基于产业链基础、资本机制、政策定力以及一个关键变量的综合判断。
二、后发制人的深圳逻辑
深圳在半导体产业上，原本算不上“优等生”。相比上海的张江、北京的亦庄，深圳过去更多被视为“设计之都”——华为海思、中兴微电子等设计企业闻名全国，但制造、设备环节长期是短板。但这个局面正在被颠覆。2026年5月，深圳市“十五五”规划纲要明确提出：“做强半导体与集成电路全品类制造，补齐产业基础短板，攻坚半导体制造设备等关键环节”。规划还特别强调，要推动人工智能、集成电路、工业母机、基础软件等领域“卡脖子”技术攻关取得决定性突破。
更值得关注的是，深圳在集成电路产业的资本布局上展现出少有的魄力：
新凯来：深圳市国资委全资控股，注册资本已达15亿元，配套产业基金规模达500亿元；
深圳市半导体与集成电路产业投资基金：首期规模50亿元，重点投向设备、零部件、材料等核心和薄弱环节；
政策配套：2025年出台“10条”专项措施，从高端芯片突破、EDA工具推广、核心设备攻关等方面系统支持。
“国资控股+大规模产业基金+专项政策”的组合，让深圳在半导体设备领域具备了“不计短期回报、押注长期突破”的耐心资本特质。
三、新凯来：深圳的“设备军团”
在2025年3月的SEMICON China展会上，一家成立仅4年的公司首次亮相，一口气发布了6大类31款半导体设备，涵盖刻蚀、薄膜沉积、量检测等核心环节，且均为可实现量产的成熟设备。这家公司就是新凯来。
新凯来的“家底”：
业务范围：扩散、薄膜沉积、刻蚀、量检测等前道核心工艺设备，以及超高速示波器、EDA软件等配套工具；
技术突破：旗下子公司万里眼发布的超高速实时示波器带宽突破90GHz，位居全球第二；子公司启云方发布了两款拥有完全自主知识产权的国产EDA设计软件；
产能基础：已经在深圳龙岗区建成大规模研发和生产基地，并在上海、武汉、北京等地布局。
新凯来不等于“中国ASML”——它目前并不制造光刻机整机，光刻机整机仍由上海微电子承担。但它的意义在于：中国第一次在光刻机之外的几乎所有前道设备环节，拥有了一个可以全面对标国际巨头的“平台型选手”。日媒甚至将新凯来称为“中国的半导体设备黑马”。如果说上海微电子承担的是“整机突破”的正面战场，新凯来则在“设备配套”的侧翼战场上攻城略地——两者互为犄角，构成国产光刻机攻坚的“双引擎”。
四、光源突围：深圳+上海的“双城协同”
上海宇量昇科技有限公司，成立于2022年7月，注册资本10亿元，股权结构为：深圳市新凯来持股50%，上海科技创业投资集团（上海国资）持股50%。公司的核心定位是高端光刻设备（含EUV/DUV）的研发，据称已获得国家大基金三期15亿元投资。这种股权结构本身就说明了一个关键判断：EUV光刻机的核心子系统——尤其是光源——需要通过跨地域的资源整合来完成。深圳有资本和系统集成能力，上海有微电子装备产业基础，两者的合作并非简单的“投资”，而是技术攻关的国家级资源配置。
五、华为：深圳的“总协调人”
华为在深圳EUV突破中的角色，可以从三个维度理解：第一，需求拉动。 华为是国产先进制程芯片最大的需求方。被制裁后，华为对“不受制于人的芯片供给”有着最迫切的需求，这种需求构成了整个产业链攻坚的“发动机”。第二，技术协同。 日媒报道指出，华为已成为中国芯片制造设备行业主要支持者，建立了研发中心，从全球头部芯片企业招聘人才，并支持新凯来等设备制造商开发各类芯片制造工具。第三，生态扶植。 华为在扶植国内产业链上有着丰富经验。从早期采用京东方的OLED屏、在Mate系列中导入长江存储的闪存，到哈勃投资布局数十家芯片企业，华为的做法清晰：“你能做出合格产品，我就敢用”——用订单哺育技术迭代。在半导体设备领域，这一模式同样适用。
六、深圳的“底牌”不止于此
除了新凯来和华为，深圳还有几张“底牌”：
龙岗区的产业生态：龙岗区是深圳半导体与集成电路产业最完备的行政区。2025年10月，国家第三代半导体技术创新中心（深圳）在龙岗的深圳平湖实验室建成投用，标志着深圳在半导体材料领域拥有了核心战略支点。方正微电子集成电路工业园等重大项目也在稳步推进；
全市产业规模支撑：2025年深圳半导体与集成电路产业规模快速增长，设计、制造、封测、设备各细分领域“齐头并进、蓬勃发展”；
深芯盟的聚合效应：深圳市半导体与集成电路产业联盟已吸纳会员企业超千家，形成了全国少有的“政产学研用资服”一体化协同平台。
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七、深圳不缺先进制程芯片的“买单者”
除了华为，深圳还有一批对先进制程芯片有着刚性需求的大客户。2026年5月，比亚迪发布了中国首款自研4纳米车规级智驾芯片“璇玑A3”。这颗芯片支持L3/L4级自动驾驶，已规模化量产，堪称国内智驾芯片的“天花板”。但比亚迪面临一个现实问题：自有晶圆厂主要擅长功率半导体，这颗4纳米芯片仍需依赖台积电或三星代工。有报道称三星正与比亚迪就4纳米及2纳米芯片代工展开洽谈——这恰恰说明，一旦国产EUV实现突破，比亚迪这类拥有自研能力的大客户，将是先进制程产能最迫切的需求方。更进一步看，深圳明确将AI芯片作为半导体产业的突破口，面向新能源汽车万亿级市场，支持14nm及以下车规级高阶智驾AI芯片的国产替代。比亚迪之外，深圳还拥有荣耀、大疆、以及超过7.4万家机器人相关企业——形成了一个对先进制程芯片有着持续需求的庞大客户群。
结论很清晰：深圳不需要担心EUV突破后“有产能没订单”的问题，因为这里有太多企业已经准备好了“订单”，只差国产先进制程产能的落地。
八、结论：深圳的“一飞冲天”不是神话
回到最初的问题：为什么深圳最有可能率先实现EUV级别的突破？我的判断依据有三：第一，机制优势。 深圳有“国资主导+耐心资本”的出资模式，有龙岗区“管委会+平台公司”的产业服务机制，有不以短期盈利为考核指标的容错空间——这些对光刻机这种“十年磨一剑”的工程至关重要。第二，生态优势。深圳同时拥有华为（需求方+技术方）、新凯来（设备平台）、中芯国际（制造端）、深芯盟（产业联盟）——这是一个罕见的“全要素集结”状态。深圳还有比亚迪等一批对先进制程芯片有着刚性需求的大客户，如果说华为是被封锁后的“被迫替代需求”，比亚迪则是基于市场竞争的“主动自研需求”——两者叠加，让深圳的先进制程芯片需求从“单点支撑”变成了“双核驱动”。第三，战略定力。 深圳已将半导体全品类制造写入“十五五”规划纲要，明确要“取得决定性突破”。这种自上而下的政治决心，加上自下而上的产业需求，构成了双重动力。
如果国产EUV的突破需要一个“主场”，深圳是最有资格争取这个主场的城市。当然，这并不意味着突破会在一夜之间发生。光源功率、光学系统、供应链生态——这些硬骨头依然需要时间和耐心。但方向已经清晰，路线已经明确，剩下的只是在正确的战场上，打一场艰苦但必胜的持久战。
参考引用
[1] 《深圳市国民经济和社会发展第十五个五年规划纲要》，2026年5月
[2] 证券时报/深圳商报：新凯来相关报道，2025年10月
[3] 《财经》杂志：新凯来深度分析，2025年10月
[4] 日经亚洲评论：中国能打造自己的阿斯麦吗？2025年7月
[5] 东方财富网：宇量昇股权结构分析，2026年5月
[6] 中时新闻网：华为背后芯片黑马新凯来，2025年5月
[7] 深圳特区报：深圳市政府工作报告点名龙岗，2026年2月
[8] 龙岗区政府官网：半导体与集成电路产业申报指南（2026年），2026年3月
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撰写说明：本文基于深圳市“十五五”规划纲要、公开新闻报道及行业分析进行综合梳理。文中涉及的技术突破预测均为基于公开信息的合理推演，具体进展以官方发布为准。如有转载请注明出处和作者。
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最后更新：2026年6月22日