读完本文，关于下面几个问题你会得到一个清晰的答案： 基本原理：用瑞利公式说明波长如何决定分辨率 DUV时代：193nm光源能做什么，多重曝光能把它推到多远 EUV时代：为什么7nm以下是必须，13.5nm光源的极限在哪 未来方向：High-NA EUV能走到哪，物理极限何时到来 为避免混淆，文中依然
提到芯片，估计印象最深的就是多少多少纳米，数字越小往往代表技术越先进，对应价格也越昂贵。比如目前最”先进“制程已经到了2纳米、甚至到了埃米级（1埃米=0.1纳米）。当芯片的制程从初始的“微米”到“埃米”一直进化，其数字背后的真实技术演进与营销迷雾也许比芯片制程本身更为有趣。本文试着用通俗易懂的语言为
